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仪器名称

台阶仪

型号规格

D-100

价值(万元)

24.4

产地

美国-KLA

购置日期

2012.12.1

主要技术指标

测量厚度0.1微米~1mm,测量长度 1mm1cm

应用范围

用于测试薄膜的厚度