X射线光电子能谱仪

英文名称

X-ray photoelectron spectrometer

型号规格

ESCALAB Xi+

价值（万元）

500

产地

英国

购置日期

2017.6

主要技术指标

1、微聚焦单色化Al Kα X射线源

2、最佳能量分辨率：≤0.45 eV (XPS)、100 meV (UPS)

3、快速平行成像，对Ag3d5/2，线扫描的最佳空间分辨率优于1μm

4、最佳灵敏度：半高宽优于0.45 eV，优于150kcps； (Ag3d5/2峰，)

应用范围

光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一，可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息；可对非均相覆盖层（如薄膜）进行深度分布分析，了解元素随深度分布的情况；可对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像；还可利用UPS（紫外光电子能谱）研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。广泛应用于固体物理学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、材料科学、微电子技术及薄膜研究。